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J-GLOBAL ID：200902119537289200   Reference number：96A0071525

Electroplating film thickness simulation by boundary element method. 1st report. Examination on analysis method.

境界要素法による電気めっき膜厚シミュレーション 第一報 解析手法の検討

Author (3)： KOBAYASHI KAZUYUKI (ヤマハ) ,  KAWAMUKAI HIROSHI (ヤマハ) ,  MOROHASHI SUSUMU (ヤマハ)
Material： 表面技術協会講演大会講演要旨集
Volume： 92nd  Page： 34-35  Publication year： Sep. 1995 
JST Material Number： Y0050A  ISSN： 0917-2947  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (5)： 境界要素法 ,  電気めっき ,  膜厚 ,  シミュレーション ,  解析手法