Art

J-GLOBAL ID：200902121396592111   Reference number：99A0286043

Development of a Unique, High Precision Linear Motor Integrated Air Slide Table, and Its Application to Laser Beam Writers.

ユニーク高精度リニアモータ集積エアスライドテーブルの開発,およびレーザビーム描画装置への応用

Author (1)： ONDA H (NTN Corp., Shizuoka, JPN)
Material： Optical Review  (Opt Rev)
Volume： 6  Issue： 1  Page： 88-92  Publication year： Jan. 1999 
JST Material Number： L2272A  ISSN： 1340-6000  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *laser lithography ,...
Semi thesaurus term： エアスライドテーブル ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (12)：

• XU, F. Appl. Opt. 1995, 34, 256
• FAN, J. Appl. Opt. 1995, 34, 2522
• BENGTSSON, J. Appl. Opt. 1996, 35, 3807
• NIKOLAJEFF, F. Appl. Opt. 1997, 36, 8481
• BLOUGH, G. Laser Focus World. 1995, 31, 67

Terms in the title (7)： リニアモータ ,  集積 ,  エアスライド ,  開発 ,  レーザビーム ,  描画装置 ,  応用