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J-GLOBAL ID：200902122042185531
Reference number：99A0653038
超高速ドライブ技術のターボ分子ポンプ,工作機械用スピンドルへの応用例
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Author (1)：
Material：
Volume：
1998
Issue：
4
Page：
S.21.21-S.21.24
Publication year：
Mar. 1998
JST Material Number：
S0653A
Document type：
Proceedings
Country of issue：
Japan (JPN)
Language：
JAPANESE (JA)
Terms in the title (5)：
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