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J-GLOBAL ID：200902122613569588   Reference number：97A0937091

Work-affected layer on pre-fininshing surface affecting plasma CVM worked surface.

プラズマCVM加工面に影響を与える前加工面の加工変質層について

Author (6)： KOBAYASHI TERUNORI (ニコン) ,  SHIBATA NORIO (ニコン) ,  TAKINO HIDEO (ニコン) ,  ITO HIROSHI (ニコン) ,  YAMAMURA KAZUYA (大阪大 大学院) ,  MORI YUZO (大阪大 大学院)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 1997  Issue： 秋季  Page： 188  Publication year： Sep. 1997 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Reference (2)：

• 森. 1991年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 517
• 森. 1994年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 645

Terms in the title (3)： プラズマCVM ,  加工面 ,  加工変質層