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J-GLOBAL ID：200902122967775444   Reference number：99A0201724

Basic Characteristics of the Large Area Plasma produced by Coaxially Symmetric Surface Wave in VHF Band.

VHF帯軸対称表面波を用いた大面積プラズマの基礎特性

Author (9)： IKEZAWA SHUNJIRO (中部大 工) ,  SHIRAKI YASUNORI (中部大 工) ,  INAGUMA JUN'ICHI (中部大 工) ,  MIKAWA YASUHIRO (中部大 工) ,  NISHIWAKI AKIRA (中部大 工) ,  NAGATSU MASAAKI (名古屋大 大学院) ,  OKAMOTO YUKIO (東洋大 工) ,  NONAKA SHIGEHIKO (豊田工大) ,  MIYANO RYUICHI (静岡大 工)
Material： プラズマ・核融合学会誌  (Journal of Plasma and Fusion Research)
Volume： 74  Issue： 12  Page： 1452-1460  Publication year： Dec. 1998 
JST Material Number： G0114A  ISSN： 0918-7928  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： inductively coupled plasma ,...

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JST classification (1)： Plasma production and heating  (BJ02060E)

Reference (16)：

• TRIVELPIECE, A. W. J. Appl. Phys. 1959, 30, 1784
• AKAO, Y. J. Appl. Phys. 1963, 34, 2119
• NONAKA, S. J. Appl. Phys. 1983, 54, 3798
• 池澤俊治郎. 電気学会論文誌. 1972, 92A, 9
• MOISAN, M. J. Phys. D, Appl. Phys. 1991, 24, 1025

Terms in the title (6)： VHF ,  軸対称 ,  表面波 ,  大面積 ,  プラズマ ,  基礎