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J-GLOBAL ID：200902123470289267   Reference number：01A0151409

Stainless Steel Films Deposited by dc Unbalanced Magnetron Sputtering Using SUS304 Steel Target.

SUS304鋼ターゲットを用いた非平衡マグネトロンスパッタ法によるステンレス鋼薄膜

Author (5)： INOUE SHOZO (姫路工大 工) ,  SAEKI TOSHIAKI (姫路工大 工) ,  KOTERAZAWA KEIJI (姫路工大 工) ,  UCHIDA HITOSHI (姫路工大 工) ,  IWASA MIKIO (大阪工技研)
Material： 日本金属学会誌  (Journal of the Japan Institute of Metals and Materials)
Volume： 64  Issue： 12  Page： 1218-1223  Publication year： Dec. 20, 2000 
JST Material Number： G0023A  ISSN： 0021-4876  CODEN： NIKGAV  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *stainless steel ,...
Semi thesaurus term： SUS304

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JST classification (1)： Metallic thin films  (BK14030T)

Reference (17)：

• NAKAJO, H. Proceedings of JSCE Materials and Environments. 1998, 279-282
• LI, X. -Y. Proceedings of JSCE Materials and Environ-ments. 1998, 225-228
• LI, X. -Y. Proceedings of the 45th Japan Conference on Materials and Environments. 1998, 209-212
• LI, X. -Y. Proceedings of JSCE Materials and Environments. 1999, 119-122
• BOUBEKER, B. Ann Chim. Fr. 1994, 19, 377-380

Terms in the title (6)： SUS304 ,  ターゲット ,  非平衡 ,  マグネトロンスパッタ法 ,  ステンレス鋼 ,  薄膜