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J-GLOBAL ID：200902123552652262   Reference number：00A0743008

非平衡プラズマと微細加工のモデリング モデリングおよび基礎理論・基礎計測における最近の進展

Material： 電気学会技術報告
Issue： 790  Page： 1-99  Publication year： May. 30, 2000 
JST Material Number： S0378A  ISSN： 0919-9195  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *plasma etching ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (7)： 非平衡プラズマ ,  微細加工 ,  モデリング ,  基礎 ,  理論 ,  計測 ,  進展