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J-GLOBAL ID：200902123574197380   Reference number：01A0382120

無電解ニッケル合金めっきによるULSI銅配線上へのキャップメタルの形成

Author (4)： TAKADA YUICHI (関東学院大 大学院) ,  ISHIKAWA KAORU (関東学院大 大学院) ,  MIURA SHUHEI (関東学院大 大学院) ,  HONMA HIDEO (関東学院大 工)
Material： 表面技術協会講演大会講演要旨集
Volume： 103rd  Page： 31  Publication year： Mar. 05, 2001 
JST Material Number： Y0050A  ISSN： 0917-2947  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *nickel base alloy ,...
Semi thesaurus term： ULSI ,...

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JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Electroless plating  (WC08024S)

Substance index (1)： Citric acid

Terms in the title (6)： 無電解ニッケル ,  合金めっき ,  ULSI ,  銅配線 ,  キャップ ,  メタル