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J-GLOBAL ID：200902123615677848   Reference number：95A0399554

Fabrication of Au nanoparticles by radio-frequency magnetron sputtering.

高周波マグネトロンスパッタリングによるAuナノ粒子の作製

Author (3)： TERAUCHI S (National Inst. Materials and Chemical Research, Agency of Industrial Science and Technology, Ibaraki, JPN) ,  KOSHIZAKI N (National Inst. Materials and Chemical Research, Agency of Industrial Science and Technology, Ibaraki, JPN) ,  UMEHARA H (National Inst. Materials and Chemical Research, Agency of Industrial Science and Technology, Ibaraki, JPN)
Material： Nanostructured Materials  (Nanostruct Mater)
Volume： 5  Issue： 1  Page： 71-78  Publication year： Jan. 1995 
JST Material Number： W0435A  ISSN： 0965-9773  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： magnetron sputtering ,...

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JST classification (1)： Metallic thin films  (BK14030T)

Terms in the title (3)： 高周波マグネトロンスパッタリング ,  Auナノ粒子 ,  作製