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J-GLOBAL ID：200902123962934877   Reference number：97A0790685

Residual Stress and Various Characteristics of Ti-N Films Coated by Ion Beam Mixing Technique.

イオンビームミキシング法によって作製したTi-N系膜の残留応力と諸特性

Author (5)： MIKI YASUHARU (奈良県工技セ) ,  ARAKI HIROJI (奈良県工技セ) ,  TANIGUCHI TADASHI (奈良県工技セ) ,  NISHIBATA YUJI (関西大 大学院) ,  YAKUSHIJI MASAO (関西大 工)
Material： 材料  (Journal of the Society of Materials Science, Japan)
Volume： 46  Issue： 8  Page： 933-938  Publication year： Aug. 1997 
JST Material Number： F0385A  ISSN： 0514-5163  CODEN： ZARYA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： ion beam mixing ,...

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JST classification (1)： Ceramic coating to metallic materials  (YC02050V)

Reference (20)：

• 下村順一. 金属表面技術. 1988, 39, 630
• 朝日直達. 金属表面技術. 1987, 38, 329
• 福島正武. 金属表面技術. 1988, 39, 618
• KIUCHI, M. Nucl. Instr. and Meth. 1988, B33, 649
• KIUCHI, M. Nucl. Instr. and Meth. 1989, B39, 166

Terms in the title (4)： イオンビームミキシング ,  作製 ,  Ti ,  残留応力