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J-GLOBAL ID：200902124200676001   Reference number：95A0173916

Manufacturing of Microstructures Using UV-Sensitive Photopolymer. 3rd Report. Writing with a Focused Beam.

紫外線感光性樹脂を使ったマイクロストラクチュアの製造 第3報 集束ビーム描画法における硬化特性

Author (5)： YAMAGUCHI KATSUMI (名古屋大 工) ,  NAKAMOTO TAKESHI (名古屋大 工) ,  ABRAHA P (ミヤマ工業) ,  KARYAWAN (UPT-LAGG, Jawa Barat, IDN) ,  ITO AKIRA (名古屋大 大学院)
Material： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
Volume： 61  Issue： 581  Page： 304-310  Publication year： Jan. 1995 
JST Material Number： F0045B  ISSN： 0387-5024  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： photopolymer ,...
Semi thesaurus term： crosslinking

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JST classification (2)： Machining and finishing in general  (YH04111G) ,  Special machining  (QC04000Y)

Reference (18)：

• 山口. 機論. 1991, 57-542, C, 3400
• EHRFELD, W. Proc. of 1st Int. Conf. on Micro Electro Opto, Mechanic Systems and Components. 1990, 521
• MOHR, J. Proc. of 1st Int. Conf. on Micro Electro Opto, Mechanic Systems and Components. 1990, 529
• MENZ, W. Int. J. Appl. Electromagnetics in Materials. 1992, 2-4, 281
• MOHR, J. Sensors and Actuators A. Physical. 1991, 27-1, 571

Terms in the title (7)： 紫外線 ,  感光性樹脂 ,  ストラクチュア ,  集束 ,  ビーム ,  描画 ,  硬化特性