Art

J-GLOBAL ID：200902124287568870   Reference number：97A0015634

Transfer of structured and patterned thin silicon films using the Smart-Cut process.

Smart-Cutプロセスを用いて構造化とパターン形成されたシリコン薄膜の転写

Author (4)： ASPAR B (CEA Grenoble, Grenoble, FRA) ,  BRUEL M (CEA Grenoble, Grenoble, FRA) ,  ZUSSY M (CEA Grenoble, Grenoble, FRA) ,  CARTIER A M (CEA Grenoble, Grenoble, FRA)
Material： Electronics Letters  (Electron Lett)
Volume： 32  Issue： 21  Page： 1985-1986  Publication year： Oct. 10, 1996 
JST Material Number： A0887A  ISSN： 0013-5194  CODEN： ELLEAK  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： semiconductor thin film ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (5)： SMART ,  プロセス ,  パターン形成 ,  シリコン薄膜 ,  転写