Art

J-GLOBAL ID：200902124536445083   Reference number：02A0335922

Development of Color Resist Thickness Monitor. Realization of Inline Inspection of Color Resist.

カラーレジスト膜厚センサ(形Z5CF-350)の開発 カラーレジストのインライン全数検査の実現

Author (4)： EKAWA KOICHI (オムロン 技術統括セ) ,  KUROKAWA MASAHIRO (オムロン) ,  MIZUHATA SHINJI (オムロン) ,  TSUCHIMICHI KAZUMI (オムロン)
Material： Omron Technics  (Omron Tech)
Volume： 42  Issue： 1  Page： 2-7  Publication year： Mar. 20, 2002 
JST Material Number： S0266A  ISSN： 0474-1315  CODEN： OMTKA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： liquid crystal display ,...
Semi thesaurus term： 膜厚センサ

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JST classification (2)： Techniques and equipment of thin film deposition  (BK14020I) ,  Display equipment  (NC06030Q)

Terms in the title (7)： カラー ,  レジスト ,  膜厚 ,  形 ,  開発 ,  インライン ,  全数検査