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J-GLOBAL ID：200902124545041793   Reference number：01A0552174

Phosphorus doping and defect studies of diamond-like carbon films by pulsed laser deposition using camphoric carbon target.

しょうのう炭素をターゲットとしたパルスレーザ蒸着によるダイヤモンド状炭素膜へのりんのドープと欠陥の研究

Author (5)： MOMINUZZAMAN S M (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  EBISU H (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  SOGA T (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  JIMBO T (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  UMENO M (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN)
Material： Diamond and Related Materials  (Diam Relat Mater)
Volume： 10  Issue： 3/7  Page： 984-988  Publication year： Mar. 2001 
JST Material Number： W0498A  ISSN： 0925-9635  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *laser deposition ,...
Semi thesaurus term： conduction band ,...

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JST classification (1)： Semiconductor thin films  (BK14040E)

Substance index (1)： Camphor

Terms in the title (9)： しょうのう ,  炭素 ,  ターゲット ,  パルスレーザ蒸着 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  りん ,  ドープ ,  欠陥 ,  研究