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J-GLOBAL ID：200902124835272594   Reference number：94A0851007

Synthesis of AlN Fine Particles by Surface Corona Discharge-CVD.

沿面コロナ放電CVDによるAlN微粒子の合成

Author (5)： OYAMA YASUSHI (北海道工技研) ,  CHIBA SHIGEO (北海道工技研) ,  HARIMA KAZUYUKI (北大 工) ,  KONDO KAZUO (北大 工) ,  SHINOHARA KUNIO (北大 工)
Material： 化学工学論文集
Volume： 20  Issue： 5  Page： 642-647  Publication year： Sep. 1994 
JST Material Number： S0110B  ISSN： 0386-216X  CODEN： KKRBAW  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： gas phase reaction ,...

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JST classification (2)： Unit process  (XE01040I) ,  Manufacturing of ceramics and ceramic whiteware  (YC03020V)

Reference (16)：

• 1) Akashi, K. : Yogyo Kyokai Shi, 95, 11-30 (1987)
• 2) Chiba, S., S. Honma, Y. Ohyama and K. Shinohara : Kagaku Kogaku Ronbunshu, 16,507-511 (1990)
• 3) Hashizume, Y., E. Uchimura and K. Murata : Kogyo Zairyo, 36, 33-39 (1988)
• 4) Hojo, J., M. Nakamine and A. Kato : “Ceramic”, Transaction Vol. 1, Ceramic Powder Science, eds. G. L. Messing, E. R. Fuller, Jr. H. Hausner, pp. 278-284, The American Ceramic Soc. Inc. Ohio (1988)
• 5) Kimura, I., N. Hotta, H. Nukui, N. Saito and S. Yasukawa : J. Mater. Sci. Lett., 7, 66-68 (1988

Terms in the title (4)： コロナ放電 ,  CVD ,  AlN ,  微粒子