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J-GLOBAL ID：200902125017767770   Reference number：99A0619557

Modeling of Filament Discharge Development in a XeCl Excimer Laser.

XeClエキシマーレーザーにおけるフィラメント放電開発のモデリング

Author (4)： AKASHI H (National Defense Acad., Kanagawa, JPN) ,  SAKAI Y (Hokkaido Univ., Hokkaido, JPN) ,  TAKAHASHI N (National Defense Acad., Kanagawa, JPN) ,  SASAKI T (National Defense Acad., Kanagawa, JPN)
Material： IEEE Transactions on Plasma Science  (IEEE Trans Plasma Sci)
Volume： 27  Issue： 1  Page： 8-9  Publication year： Feb. 1999 
JST Material Number： D0036B  ISSN： 0093-3813  CODEN： ITPSBD  Document type： Article
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (5)： エキシマーレーザー ,  フィラメント ,  放電 ,  開発 ,  モデリング