Art

J-GLOBAL ID：200902126423995560   Reference number：97A0144389

The structure of tetrahedral amorphous carbon thin films.

四面体非晶質炭素薄膜の構造

Author (7)： SILVA S R P (Univ. Surrey, Surrey, GBR) ,  XU S (Nanyang Technol. Univ., Singapore, SGP) ,  TAY B K (Nanyang Technol. Univ., Singapore, SGP) ,  TAN H S (Nanyang Technol. Univ., Singapore, SGP) ,  SCHEIBE H-J (Fraunhofer-Inst. Werkstoffphysik und Schichttechnol., Dresden, DEU) ,  CHHOWALLA M (Cambridge Univ., Cambridge, GBR) ,  MILNE W I (Cambridge Univ., Cambridge, GBR)
Material： Thin Solid Films
Volume： 290/291  Page： 317-322  Publication year： Dec. 15, 1996 
JST Material Number： B0899A  ISSN： 0040-6090  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： laser deposition ,...

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JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Terms in the title (2)： 四面体非晶質炭素 ,  薄膜