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J-GLOBAL ID：200902126509646096   Reference number：02A0202638

Recent Topics on High Density Plasma Production by Helicon Waves.

ヘリコン波による高密度プラズマ生成の最近の話題

Author (1)： SHINOHARA SHUNJIRO (九大 大学院総合理工学研究院)
Material： プラズマ・核融合学会誌  (Journal of Plasma and Fusion Research)
Volume： 78  Issue： 1  Page： 5-18  Publication year： Jan. 25, 2002 
JST Material Number： G0114A  ISSN： 0918-7928  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *plasma production ,...
Semi thesaurus term： 高密度プラズマ ,...

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JST classification (1)： Plasma production and heating  (BJ02060E)

Reference (149)：

• [1] M.A. Lieberman and A.J. Lichtenberg, Principles of Plasma Discharges and Materials Processing (John Wiley & Sons, Inc., New York, 1994).
• [2] S. Shinohara, Jpn. J. Appl. Phys. 36, 4695 (1997), and references therein.
• [3] R.W. Boswell and F.F. Chen, IEEE Trans. Plasma Sci. 25, 1229 (1997), and references therein.
• [4] F.F. Chen and R.W. Boswell, IEEE Trans. Plasma Sci. 25, 1245 (1997), and references therein.
• [5] 庄司多津男, 坂和洋一 : プラズマ•核融合学会誌 74, 29 (1998) (参考文献あり).

Terms in the title (3)： ヘリコン波 ,  高密度プラズマ ,  話題