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J-GLOBAL ID：200902127183706499   Reference number：94A0170188

光散乱によるSiウェーハ表面の微粒子計測

Author (7)： INOUE HARUYUKI (大阪大 工) ,  KATAOKA TOSHIHIKO (大阪大 工) ,  ENDO KATSUYOSHI (大阪大 工) ,  INAGAKI KOJI (UHA味覚糖) ,  MORI YUZO (大阪大 工) ,  YAMAUCHI KAZUTO (大阪大 工) ,  OSADA HIROSHI (大阪大 工)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 1993  Issue： Autumn 1  Page： 207-208  Publication year： Sep. 1993 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (4)： 光散乱 ,  Siウェーハ ,  微粒子 ,  計測