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J-GLOBAL ID：200902128299337292   Reference number：01A0245372

Oxygen exchange and transport in thin zirconia films on Si(100).

Si(100)上のジルコニア薄膜における酸素交換及び輸送

Author (7)： BUSCH B W (Rutgers Univ., New Jersey) ,  SCHULTE W H (Rutgers Univ., New Jersey) ,  GARFUNKEL E (Rutgers Univ., New Jersey) ,  GUSTAFSSON T (Rutgers Univ., New Jersey) ,  QI W (Univ. Texas at Austin, Texas) ,  NIEH R (Univ. Texas at Austin, Texas) ,  LEE J (Univ. Texas at Austin, Texas)
Material： Physical Review. B. Condensed Matter and Materials Physics  (Physical Review. B. Condensed Matter)
Volume： 62  Issue： 20  Page： R13290-R13293  Publication year： Nov. 15, 2000 
JST Material Number： D0746A  ISSN： 1098-0121  CODEN： PRBMDO  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： silicon ,...

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JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (5)： Si ,  ジルコニア ,  薄膜 ,  酸素 ,  輸送