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J-GLOBAL ID：200902128374519890   Reference number：94A0408542

Formation of Silicon Carbide and Amorphous Silicon using Network Polysilane as a Precursor.

ネットワークポリシランを前駆体としたシリコンカーバイドおよびアモルファスシリコンの合成

Author (3)： WATANABE AKIRA (東北大 反応化研) ,  NAGAI YOSHINORI (東北大 反応化研) ,  MATSUDA MINORU (東北大 反応化研)
Material： 高分子学会予稿集  (Polymer Preprints, Japan)
Volume： 42  Issue： 9  Page： 3590-3592  Publication year： Sep. 1993 
JST Material Number： Z0703B  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (4)： ポリシラン ,  前駆体 ,  シリコンカーバイド ,  アモルファスシリコン