Art

J-GLOBAL ID：200902128495182841   Reference number：99A1015589

High precision pitch calibration of gratings using laser diffractometry.

レーザ回折法を用いた格子の高精密ピッチ校正

Author (3)： MELI F (Swiss Federal Office of Metrology, Bern-Wadern, CHE) ,  THALMANN R (Swiss Federal Office of Metrology, Bern-Wadern, CHE) ,  BLATTNER P (Univ. Neuchatel, Neuchatel, CHE)
Material： Precision Engineering Nanotechnology: Proceedings of the 1st International euspen Conference, 1999, Vol.2  (Precis Eng Nanotechnology Proc 1st Int euspen Conf 1999 Vol 2)
Page： 252-255  Publication year： 1999 
JST Material Number： K19990396  ISSN： 0945-0769  ISBN： 3-8265-6085-X  Document type： Proceedings
Country of issue： Germany, Federal Republic of (DEU)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (5)： レーザ回折 ,  格子 ,  精密 ,  ピッチ ,  校正