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J-GLOBAL ID：200902128497721677   Reference number：99A0121618

Developments in Al-Nd Alloy Interconnections and Sputtering Targets for Liquid Crystal Displays.

液晶ディスプレイ用Al-Nd系合金配線薄膜および同合金スパッタリングターゲットの開発

Author (4)： ONISHI TAKASHI (神戸製鋼所) ,  IWAMURA EIJI (神戸製鋼所) ,  TAKAGI KATSUTOSHI (神戸製鋼所) ,  YOSHIKAWA KAZUO (コベルコ科研)
Material： R&D神戸製鋼技報  (R&D/神戸製鋼技報)
Volume： 48  Issue： 3  Page： 29-34  Publication year： Dec. 1998 
JST Material Number： F0164A  ISSN： 0373-8868  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *liquid crystal display ,...
Semi thesaurus term： anodic oxidation ,...

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JST classification (2)： Display equipment  (NC06030Q) ,  Electrical properties  (WB02010Y)

Terms in the title (7)： 液晶ディスプレイ ,  Al ,  Nd ,  合金 ,  薄膜 ,  スパッタリングターゲット ,  開発