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J-GLOBAL ID：200902128760029988   Reference number：99A0614426

Accurate topographic images using a measuring atomic force microscope.

測定型原子間力顕微鏡による精確なトポグラフィック像

Author (8)： GONDA S (National Res. Lab. Metrology, Tsukuba, JPN) ,  DOI T (National Res. Lab. Metrology, Tsukuba, JPN) ,  KUROSAWA T (National Res. Lab. Metrology, Tsukuba, JPN) ,  TANIMURA Y (National Res. Lab. Metrology, Tsukuba, JPN) ,  HISATA N (Olympus Optical, Tokyo, JPN) ,  YAMAGISHI T (Olympus Optical, Tokyo, JPN) ,  FUJIMOTO H (Olympus Optical, Tokyo, JPN) ,  YUKAWA H (Olympus Optical, Tokyo, JPN)
Material： Applied Surface Science  (Appl Surf Sci)
Volume： 144/145  Page： 505-509  Publication year： Apr. 1999 
JST Material Number： B0707B  ISSN： 0169-4332  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *atomic force microscope ,...

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JST classification (1)： Microscopy determination of structures  (BK01040E)

Terms in the title (1)： 原子間力顕微鏡