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J-GLOBAL ID：200902128920090298   Reference number：02A0894642

触針式表面粗さ測定機を用いた段差測定における不確かさ評価

Author (4)： NAOI KAZUYA (産業技術総合研) ,  AKATSU TOSHIO (産業技術総合研) ,  SATO HIROSHI (産業技術総合研) ,  KUROSAWA TOMIZO (産業技術総合研)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 68  Issue： 11  Page： 1447-1449  Publication year： Nov. 05, 2002 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *surface roughness ,...

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JST classification (1)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Reference (7)：

• BRAND, U. Calibration of step height standards for nanometrology using interference microscopy and stylus profilometry. Prec. Eng. 1995, 17, 1, 22-33
• LEACH, Richard. K. Traceable measurement of surface texture at the National Physical Laboratory using NanoSurflV. Meas Sci. Tech. 2000, 11, 1162-1172
• BAKER, A. J. Developments in Australia's surface roughness measurement system. Int. J. Mach. Tools & Manuf. 2001, 41, 2087-2093
• 製品の幾何特性仕様(GPS)-表面性状 : 輪郭曲線方式 ; 測定標準-第1部 : 標準片. JISB0659-1 : 2002. 2002
• 今井秀孝. 計測における不確かさ表現の歴史的経緯と展望. 計測と制御. 1998, 37, 5, 300-305

Terms in the title (6)： 触針 ,  表面粗さ ,  測定機 ,  段差 ,  不確かさ ,  評価