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J-GLOBAL ID：200902129275874285   Reference number：96A0412909

Preparation of rf Sputtered and Post-annealed Ba-Ferrite Films and Their Magnetic Properties.

rfスパッタ成膜後熱処理によるBaフェライト薄膜の作製と磁気特性

Author (2)： KAKIZAKI KOICHI (埼玉大 工) ,  HIRATSUKA NOBUYUKI (埼玉大 工)
Material： 日本応用磁気学会誌  (Journal of the Magnetics Society of Japan)
Volume： 20  Issue： 2  Page： 313-316  Publication year： Apr. 1996 
JST Material Number： Z0944A  ISSN： 0285-0192  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： ferrite ,...

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JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Magnetic properties of oxides  (BM06050E)

Reference (7)：

• 1) 星 陽一, 松岡茂登, 直江正彦, 中山俊一: 電子情報通信学会論文誌, J66-C, 9 (1983).
• 2) 森迫昭光, 松本光功, 直江正彦: 電子情報通信学会論文誌, J69-C, 902 (1986).
• 3) E. Lacroix, P. Gerard, G. Marest, and M. Dupuy: J. Appl. Phys., 69, 4770 (1991).
• 4) 平塚信之, 東條 聡, 越川衛一, 藤田 実: 電子情報通信学会論文誌, J67-C-II, 547 (1994).
• 5) A. Morisako, H. Nakanishi, and M. Matsumoto: J. Appl. Phys., 75, 5969 (1994).s

Terms in the title (7)： RFスパッタ ,  成膜 ,  後熱処理 ,  Baフェライト ,  薄膜 ,  作製 ,  磁気特性