Art

J-GLOBAL ID：200902129806728190   Reference number：93A0398546

Micro-steps between Different Materials on Polished Surfaces Composed of Several Materials.

異種材料間の加工段差

Author (3)： OCHIAI YUJI (日立) ,  ARAKAWA NORIYOSHI (日立) ,  NAKAMURA TAKAO (日立)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 59  Issue： 4  Page： 643-648  Publication year： Apr. 1993 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： stepped shape ,...
Semi thesaurus term： machining accuracy ,...

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JST classification (1)： Electric and electronic parts in general  (NA05010H)

Reference (4)：

• 1) 河西敏雄ほか : 異種硬ぜい材料の同時ラッピング・ポリシングにおける加工量差, 精密機械, 45, 3 (1979) 279.
• 2) 梶田三夫ほか : 薄膜磁気ヘッドの加工, 昭和59年度精機学会春季大会学術講演会講演論文集, No.438 (1984) 765.
• 3) 落合雄二ほか : フェライト材のメカノケミカルポリシング, 精密工学会誌, 56, 12 (1990) 2231.
• 4) Rank Taylor Hobson カタログ Micro-measurement with TALYSTEP.

Terms in the title (2)： 異種材料 ,  段差