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J-GLOBAL ID：200902130762829447   Reference number：00A0663983

Mechanical behavior of ultrathin microcantilever.

超薄膜マイクロカンチレバーの機械的挙動

Author (3)： YANG J (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  ONO T (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  ESASHI M (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
Material： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sens Actuators A)
Volume： A82  Issue： 1/3  Page： 102-107  Publication year： May. 15, 2000 
JST Material Number： B0345C  ISSN： 0924-4247  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： ultrathin film ,...

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JST classification (1)： Measuring instruments in general  (AD02000X)

Terms in the title (3)： 超薄膜 ,  マイクロカンチレバー ,  機械的挙動