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J-GLOBAL ID：200902130785088339   Reference number：99A0795882

Modeling and Experimental Aspects of Apparent Beam Width as an Edge Resolution Measure.

エッジ解像度測定としての見かけビーム幅のモデリングと実験的側面

Author (3)： ARCHIE C (IBM Microelectronics, New York) ,  LOWNEY J (National Inst. Standards and Technol., Maryland) ,  POSTEK M T (National Inst. Standards and Technol., Maryland)
Material： Proceedings of SPIE  (Proceedings. SPIE - The International Society for Optical Engineering)
Volume： 3677  Issue： Pt.2  Page： 669-685  Publication year： 1999 
JST Material Number： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  Document type： Proceedings
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (5)： エッジ ,  解像度 ,  ビーム幅 ,  モデリング ,  実験