Art

J-GLOBAL ID：200902131055549817   Reference number：03A0045648

Study on a Thin-Film Gas-Sensor Using Surface Micro-Machining.

表面マイクロマシン技術による薄膜ガスセンサの研究

Author (2)： HARA KAZUHIRO (東京電機大 工) ,  ITO AKIHITO (東京電機大 工)
Material： 超電導応用研究所ハイテク・リサーチ・センター研究成果報告書 2001
Page： 107-110  Publication year： 2002 
JST Material Number： N20022579  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *gas sensor ,...

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JST classification (3)： Analytical instruments  (CC02020S) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Semiconductor thin films  (BK14040E)

Terms in the title (4)： マイクロマシン技術 ,  薄膜 ,  ガスセンサ ,  研究