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J-GLOBAL ID：200902131112088864   Reference number：94A0745013

Quantitative analyses and crystallographic studies of ZnS:Mn thin films prepared by r.f. magnetron reactive sputtering.

rfマグネトロン反応性スパッタで作製したZnS:Mn薄膜の定量分析と結晶学的研究

Author (4)： XIAN H (Univ. P. et M. Curie, Paris, FRA) ,  BENALLOUL P (Univ. P. et M. Curie, Paris, FRA) ,  BARTHOU C (Univ. P. et M. Curie, Paris, FRA) ,  BENOIT J (Univ. P. et M. Curie, Paris, FRA)
Material： Thin Solid Films
Volume： 248  Issue： 2  Page： 193-198  Publication year： Aug. 15, 1994 
JST Material Number： B0899A  ISSN： 0040-6090  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： reactive sputtering ,...

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JST classification (1)： Semiconductor thin films  (BK14040E)

Terms in the title (10)： RF ,  マグネトロン ,  反応性スパッタ ,  作製 ,  ZnS ,  Mn ,  薄膜 ,  定量分析 ,  結晶学 ,  研究