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J-GLOBAL ID：200902131581852729   Reference number：02A0717899

Studies on the plasma localization of a magnetic neutral loop discharge using normalized radio frequency electric field.

正規化高周波電界を用いた磁気中性ループ放電のプラズマ局在化に関する研究

Author (2)： SUNG Y-M (Miyazaki Univ., Miyazaki, JPN) ,  HONDA C (Miyazaki Univ., Miyazaki, JPN)
Material： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics Processing and Phenomena)
Volume： 20  Issue： 4  Page： 1457-1464  Publication year： Jul. 2002 
JST Material Number： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *plasma production ,...
Semi thesaurus term： 中性ループ放電 ,...

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JST classification (1)： Plasma production and heating  (BJ02060E)

Terms in the title (9)： 正規化 ,  高周波電界 ,  磁気 ,  中性 ,  ループ ,  放電 ,  プラズマ ,  局在化 ,  研究