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J-GLOBAL ID：200902132919754139   Reference number：96A0998573

Identification and Removal of Trace Organic Contamination on Silicon Wafers Stored in Plastic Boxes.

プラスチック製箱内に貯蔵したシリコンウエハ上の極微量の有機汚染物質の同定と除去

Author (2)： SAGA K (Sony Corp., Atsugi, JPN) ,  HATTORI T (Sony Corp., Atsugi, JPN)
Material： Journal of the Electrochemical Society  (J Electrochem Soc)
Volume： 143  Issue： 10  Page： 3279-3284  Publication year： Oct. 1996 
JST Material Number： C0285A  ISSN： 1945-7111  CODEN： JESOAN  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： wafer ,...
Semi thesaurus term： BHT ,...

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JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Study of adsorption by physical means  (CB12043P)

Substance index (3)： DBQ ,  2,6-Di-tert-butyl-4-methylene-2,5-cyclohexadien-1-one ,  BHT

Terms in the title (6)： プラスチック ,  製箱 ,  貯蔵 ,  シリコンウエハ ,  有機汚染物質 ,  同定