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J-GLOBAL ID：200902133703281453   Reference number：93A0575566

A Versatile, IC process Compatible MCM-D for High Performance and Low Cost Applications.

Author (5)： LAU M Y (AT & T Bell Lab., NJ) ,  TAI K L (AT & T Bell Lab., NJ) ,  FRYE R C (AT & T Bell Lab., NJ) ,  SAITO M (AT & T Bell Lab., NJ) ,  BACON D D (AT & T Bell Lab., NJ)
Material： Proceedings of SPIE  (Proceedings. SPIE - The International Society for Optical Engineering)
Volume： 1986  Page： 107-112  Publication year： 1993 
JST Material Number： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  Document type： Proceedings
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (2)： IC ,  MCM