Art

J-GLOBAL ID：200902133804809530   Reference number：02A0722938

Submicron stereolithography for the production of freely movable mechanisms by using single-photon polymerization.

自由運動機構を作製するための単一光子重合を用いるサブミクロン立体リソグラフィー

Author (2)： MARUO S (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  IKUTA K (Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
Material： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sens Actuators A)
Volume： A100  Issue： 1  Page： 70-76  Publication year： Aug. 15, 2002 
JST Material Number： B0345C  ISSN： 0924-4247  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *submicron process ,...

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JST classification (1)： Special machining  (QC04000Y)

Terms in the title (6)： 作製 ,  単一光子 ,  重合 ,  サブ ,  立体 ,  リソグラフィー