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J-GLOBAL ID：200902133920737309   Reference number：01A0675838

Development of novel PZT thin films for active sliders based on head load/unload on demand systems.

オンデマンド型ヘッドロードアンロード方式によるアクティブ制御スライダのPZT薄膜マイクロアクチュエータの開発

Author (4)： TAGAWA NORIO (関西大) ,  SEKI HIROKAZU (日立) ,  KITAMURA KEN'ICHI (関西大 大学院) ,  MORI ATSUNOBU (関西大)
Material： 日本機械学会情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集
Volume： 2001  Page： 17-19  Publication year： Mar. 23, 2001 
JST Material Number： L1518A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *magnetic head ,...
Semi thesaurus term： PZT

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JST classification (1)： Memory units  (JC04060F)

Terms in the title (9)： オンデマンド ,  ヘッドロード ,  アンロード ,  アクティブ制御 ,  スライダ ,  PZT ,  薄膜 ,  マイクロアクチュエータ ,  開発