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J-GLOBAL ID：200902134874806321   Reference number：01A0903361

Simultaneous Evaluation of Surface and Subsurface Cracks on Nano-scale Machined Brittle Materials by Scanning Force Microscope and Scanning Laser Microscope.

走査型力顕微鏡と走査型レーザー顕微鏡によるナノスケール機械加工脆性材料上の表面/表面下クラックの同時評価

Author (3)： SUMOMOGI T (Hiroshima Kokusai Gakuin Univ., Hiroshima, JPN) ,  NAKAMURA M (Hiroshima Kokusai Gakuin Univ., Hiroshima, JPN) ,  ENDO T (Hiroshima Kokusai Gakuin Univ., Hiroshima, JPN)
Material： Precision Engineering Nanotechnology: Proceedings of the 2nd International EUSPEN Conference, 2001, Vol.1  (Precis Eng Nanotechnology Proc 2nd Int EUSPEN Conf 2001 Vol 1)
Page： 152-155  Publication year： 2001 
JST Material Number： K20010189  Document type： Proceedings
Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (8)： 走査型力顕微鏡 ,  走査型 ,  レーザー顕微鏡 ,  ナノスケール ,  機械加工 ,  脆性材料 ,  クラック ,  評価