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J-GLOBAL ID：200902135345171716   Reference number：93A0483048

A method for preparing atom probe specimens for nanoscale compositional analysis of metallic thin films.

Author (5)： HASEGAWA N (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  HONO K (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  OKANO R (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  FUJIMORI H (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  SAKURAI T (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
Material： Applied Surface Science  (Appl Surf Sci)
Volume： 67  Page： 407-412  Publication year： Apr. 1993 
JST Material Number： B0707B  ISSN： 0169-4332  Document type： Article
Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)