Art

J-GLOBAL ID：200902136370701572   Reference number：02A0798272

Development of the infrared sensor using micromachining.

マイクロマシーニングを用いた赤外線温度センサの開発

Author (9)： MASUI HIROHISA (静岡県静岡工技セ) ,  YOSHIOKA MASAYUKI (静岡県静岡工技セ) ,  SATO NATSUO (静岡県静岡工技セ) ,  IINO SHU (山梨県富士工技セ) ,  MANO TSUYOSHI (山梨県富士工技セ) ,  SHIBUYA YOSHIO (山梨県富士工技セ) ,  KASHIUCHI MASANORI (浜松光電) ,  MATSUURA KOSUKE (浜松光電) ,  SUZUKI SHIN'ICHI (浜松光電)
Material： 静岡県静岡工業技術センター研究報告  (Reports of the Shizuoka Industrial Research Institute of Shizuoka Prefecture)
Issue： 47  Page： 26-31  Publication year： Sep. 2002 
JST Material Number： G0604A  ISSN： 0916-6572  CODEN： SSSHEX  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *temperature sensor ,...

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JST classification (2)： Thermometry,thermometer  (AD06010K) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (4)： マイクロマシーニング ,  赤外線 ,  温度センサ ,  開発