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J-GLOBAL ID：200902136382576595   Reference number：01A0768097

電気化学測定用ECRスパッタカーボン膜の作製

Author (5)： HIRONO SHIGERU (NTTアフティ) ,  UMEMURA SHIGERU (千葉工大) ,  HORIUCHI TSUTOMU (NTT 生活環境研) ,  NIWA OSAMU (NTT 生活環境研) ,  YOU T (NTT 生活環境研)
Material： 電気化学会大会講演要旨集
Volume： 68th  Page： 46  Publication year： Mar. 25, 2001 
JST Material Number： Y0048A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *electron cyclotron resonance heating ,...

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JST classification (2)： Semiconductor thin films  (BK14040E) ,  Electrochemical reaction  (CB07050F)

Terms in the title (4)： 電気化学 ,  スパッタ ,  カーボン膜 ,  作製