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J-GLOBAL ID：200902137550772490   Reference number：99A0974230

ゾルゲル法によるシングルコートPZT厚膜及びそのゾルゲル液の作製と評価

Author (5)： MAKI KAZUSHIGE (三菱マテリアル) ,  SOYAMA NOBUYUKI (三菱マテリアル) ,  KAGEYAMA KENSUKE (三菱マテリアル) ,  MORI SATORU (三菱マテリアル) ,  OGI KATSUMI (三菱マテリアル)
Material： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
Volume： 60th  Issue： 2  Page： 444  Publication year： Sep. 01, 1999 
JST Material Number： Y0055A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (8)： ゾルゲル法 ,  コート ,  PZT ,  厚膜 ,  ゾル ,  ゲル ,  作製 ,  評価