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J-GLOBAL ID：200902137903695606   Reference number：95A0979949

Properties of Titanium Nitride Films on Stainless Steel for Ultrahigh Vacuum Applications.

ステンレス鋼に成膜した真空材料としてのTiN膜の特性と評価

Author (7)： IKEDA YOSHINAO (日本真空技術) ,  SAITO KAZUYA (日本真空技術) ,  TSUKAHARA SONOKO (日本真空技術) ,  NISHIURA MASAMITSU (ダイゴールド) ,  SATO MASARU (ダイゴールド) ,  OISHI MASAHARU (ダイゴールド) ,  SAKUMA YUTAKA (ダイゴールド)
Material： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
Volume： 38  Issue： 9  Page： 826  Publication year： Sep. 1995 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  Document type： Article
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (5)： ステンレス鋼 ,  成膜 ,  真空材料 ,  TiN膜 ,  評価