Art

J-GLOBAL ID：200902138152842787   Reference number：98A0261476

Uniform RF Discharge Plasmas Produced by a Square Hollow Cathode with Tapered Shape.

テーパをつけた形状の正方形ホローカソードにより生成した一様なRF放電プラズマ

Author (4)： FUKUDA T (Gunma Univ., Gunma, JPN) ,  MATSUOKA A (Gunma Univ., Gunma, JPN) ,  KONDOH Y (Gunma Univ., Gunma, JPN) ,  SUGAWARA M (Hachinohe Inst. Technol., Aomori, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters & Express Letters)
Volume： 37  Issue： 1A/B  Page： L81-L84  Publication year： Jan. 15, 1998 
JST Material Number： F0599B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *hollow-cathode discharge ,...

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JST classification (2)： Gas discharges  (BJ03020T) ,  Plasma production and heating  (BJ02060E)

Reference (9)：

• 1) A. Guntherschultze: Z. Tech. Phys. 11 (1930) 49.
• 2) M. Sugawara and T. Asami: Surf. & Coating Technol. <b>73</b> (1995) 1.
• 3) P. F. Little and A. von Engel: Proc. R. Soc. A224 (1954) 209.
• 4) A. von Engel: Ionized Gases (Clarendon Press, Oxford, 1955).
• 5) K. Fujii et al.: IEEE J. Quantum Electron. QE-15 (1979) 35.

Terms in the title (5)： テーパ ,  正方形 ,  ホローカソード ,  RF放電 ,  プラズマ