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J-GLOBAL ID：200902138241630971   Reference number：00A0147169

SON(Silicon On Nothing). A NEW DEVICE ARCHITECTURE FOR THE ULSI ERA.

SON(Silicon On Nothing) ULSI時代のための新しいデバイス構造

Author (9)： JURCZAK M (Warsaw Univ. Technol., Warsaw, POL) ,  SKOTNICKI T (France Telecom, Meylan, FRA) ,  PAOLI M (France Telecom, Meylan, FRA) ,  TORMEN B (ST Microelectronics, Crolles, FRA) ,  REGOLINI J-L (France Telecom, Meylan, FRA) ,  MORIN C (France Telecom, Meylan, FRA) ,  SCHILTZ A (France Telecom, Meylan, FRA) ,  MARTINS J (ST Microelectronics, Crolles, FRA) ,  GALVIER J (France Telecom, Meylan, FRA)
Material： Digest of Technical Papers. Symposium on VLSI Technology  (Symposium on VLSI Technology)
Volume： 1999  Page： 29-30  Publication year： 1999 
JST Material Number： A0035B  ISSN： 0743-1562  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *VLSI ,...
Semi thesaurus term： SON構造 ,...

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JST classification (2)： Semiconductor integrated circuit  (NC03162T) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (3)： SON ,  ULSI ,  デバイス構造