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J-GLOBAL ID：200902138470967068   Reference number：01A0350968

Structural and bonding properties of carbon nitride films synthesized by low energy nitrogen-ion-beam-assisted pulsed laser deposition with different laser fluences.

レーザフルエンスの異なるパルスレーザ蒸着で低エネルギー窒素イオン支援により合成した窒化炭素膜の構造と結合特性

Author (6)： ZHAO J P (AIST, MITI, Kagawa, JPN) ,  CHEN Z Y (AIST, MITI, Kagawa, JPN) ,  YANO T (AIST, MITI, Kagawa, JPN) ,  OOIE T (AIST, MITI, Kagawa, JPN) ,  YONEDA M (AIST, MITI, Kagawa, JPN) ,  SAKAKIBARA J (AIST, MITI, Kagawa, JPN)
Material： Journal of Applied Physics  (Journal of General Physics and its Application to Other Sciences and to Industry)
Volume： 89  Issue： 3  Page： 1634-1640  Publication year： Feb. 01, 2001 
JST Material Number： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： surface structure ,...
Semi thesaurus term： laser fluence

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JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Terms in the title (7)： レーザフルエンス ,  パルスレーザ蒸着 ,  低エネルギー ,  窒素イオン ,  支援 ,  窒化 ,  炭素膜