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J-GLOBAL ID：200902138839891834   Reference number：00A0549888

Synthesis and characterization of carbon nitride thin films obtained by laser induced chemical vapour deposition.

レーザ誘起化学蒸着による窒化炭素薄膜の合成と評価

Author (7)： CRUNTEANU A (Univ. Claude Bernard-Lyon 1, Villeurbanne, FRA) ,  CHARBONNIER M (Univ. Claude Bernard-Lyon 1, Villeurbanne, FRA) ,  ROMAND M (Univ. Claude Bernard-Lyon 1, Villeurbanne, FRA) ,  VASILIU F (National Inst. Materials Physics, Bucharest, ROM) ,  PANTELICA D (National Inst. Physics and Nuclear Engineering, Bucharest, ROM) ,  NEGOITA F (National Inst. Physics and Nuclear Engineering, Bucharest, ROM) ,  ALEXANDRESCU R (National Inst. Lasers, Plasma and Radiation Physics, Bucharest, ROM)
Material： Surface & Coatings Technology  (Surf Coat Technol)
Volume： 125  Issue： 1/3  Page： 301-307  Publication year： Mar. 2000 
JST Material Number： D0205C  ISSN： 0257-8972  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *carbon compound ,...
Semi thesaurus term： XPS method

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JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Terms in the title (5)： レーザ誘起 ,  化学蒸着 ,  窒化 ,  炭素薄膜 ,  評価