Art

J-GLOBAL ID：200902139816047943   Reference number：02A0004344

Ultrahigh accurate 3-D profilometer using atomic force probe.

超精密形状測定技術 原子間力プローブ搭載 超高精度三次元測定器

Author (1)： YOSHIZUMI KEIICHI (松下電器産業 超加工研)
Material： 砥粒加工学会誌  (Abrasive Technology)
Volume： 45  Issue： 12  Page： 562-565  Publication year： Dec. 01, 2001 
JST Material Number： L0473A  ISSN： 0914-2703  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *aspherical lens ,...

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JST classification (3)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O) ,  Other optical equipment  (QF05060C) ,  Grinding  (QC03000R)

Reference (5)：

• YOSHIZUMI, K. Ultrahigh accuracy 3-D profilometer. Appl. Opt. 1987, 26, 1647
• 吉住恵一. 超高精度三次元測定器の精度校正法. 光学. 1991, 20, 687
• 吉住恵一. 原子間力プローブ搭載超高精度三次元測定機. 1993, 39, 116
• 竹内博之. 超高精度三次元測定機(UA3P)の性能向上. 1999年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集. 1999, 335
• 吉住恵一. ウェーハ形状, 平坦度と厚さムラの超高精度測定. トライボロジ. 2000, 11, 2

Terms in the title (5)： 超精密 ,  形状測定 ,  原子間力 ,  プローブ ,  三次元測定器