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J-GLOBAL ID：200902140131708376   Reference number：00A0893154

Si-C-N系無機膜のプレカーサーの研究

Author (2)： INADA KENJI (ファインセラミックスセ) ,  IWAMOTO YUJI (ファインセラミックスセ)
Material： ファインセラミックスセンター研究成果発表会予稿集
Volume： 2000  Page： 34  Publication year： 2000 
JST Material Number： L1711A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *inorganic separation membrane ,...

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JST classification (2)： Manufacturing of ceramics and ceramic whiteware  (YC03020V) ,  Membrane separation  (XD02120Z)

Terms in the title (4)： Si ,  無機膜 ,  プレカーサー ,  研究