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J-GLOBAL ID：200902140278347727   Reference number：98A0421620

Development of vibro-scanning device to measure minute hole shape.

バイブロスキャン微細穴形状測定装置の開発

Author (3)： YAMAMOTO MASAKI (松下技研) ,  YAMAGUCHI KEISAKU (松下技研) ,  AOKI SHIN'ICHIRO (松下技研)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 1998  Issue： 春季  Page： 185  Publication year： Mar. 1998 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Reference (3)：

• MASUZAWA, T. Annals of the CIRP. 1993, 42-1, 589
• 山本正樹. 1995年度精密工学会春期大会学術講演会. 961
• KUIJPER, M. 電気加工技術. 1995, 19, 61, 1

Terms in the title (3)： 微細穴 ,  形状測定装置 ,  開発