Art

J-GLOBAL ID：200902140299460388   Reference number：93A0210269

Application of micro-airbridge isolation in high speed HBT fabrication.

高速HBTの製造におけるマイクロエアブリッジ絶縁の応用

Author (6)： TADAYON S (COMSAT Lab., MD) ,  METZE G (COMSAT Lab., MD) ,  GORNFELD A (COMSAT Lab., MD) ,  PANDE K (COMSAT Lab., MD) ,  HUANG H (COMSAT Lab., MD) ,  TADAYON B (Naval Research Lab., Washington, D.C., USA)
Material： Electronics Letters  (Electron Lett)
Volume： 29  Issue： 1  Page： 26-27  Publication year： Jan. 07, 1993 
JST Material Number： A0887A  ISSN： 0013-5194  CODEN： ELLEAK  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： HBT ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=93A0210269&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=A0887A") }}

JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Transistors  (NC03070N)

Terms in the title (3)： HBT ,  絶縁 ,  応用